工業(yè)自動化是在工業(yè)生產(chǎn)中廣泛采用自動控制,、自動調(diào)整裝置,，用以代替人工操縱機器和機器體系進行加工生產(chǎn)的趨勢。隨著智能制造的發(fā)展,，人機交互,、自動化,、智能化應用水平不斷提高，對裝備制造的工藝和產(chǎn)品質(zhì)量的要求也越來越高,，加之工業(yè)自動化控制產(chǎn)品的應用領域不斷拓展,，從而拉動了對工業(yè)產(chǎn)品的需求。

  工業(yè)自動化是一個突出的業(yè)務,，它正朝著一個新的方向邁進,。對品種、定制產(chǎn)品和產(chǎn)品差異化的需求不斷增加,，使得制造商很難批量生產(chǎn)零部件,。但是小批量和批量生產(chǎn)會給組織帶來巨大的成本，企業(yè)可在工業(yè)自動化領域探索新技術和新機遇,，這機遇便是微電子機械系統(tǒng)(MEMS),。繼機電一體化之后，便是微型機電一體化的時代,。

  MEMS體現(xiàn)了一種先進的半導體技術,，它包括單個芯片上的移動元件和電子元件，它致力于將集成電路(IC)制造技術(如互補金屬氧化物半導體(CMOS),、BiCMOS(雙極結晶體管和CMOS技術的集成)與創(chuàng)新的硅微加工444結合在一起,。

  MEMS技術提供的可靠性、可擴展性,、靈敏度和成本效益高的解決方案為工業(yè)自動化領域提供了大量的MEMS應用機會,。

  工業(yè)微型機電一體化時代則是MEMS技術對工業(yè)機器人尤其有利，因為該技術可以應用于觸覺傳感器,、導航或接近傳感器,。由于商業(yè)可行性較低的趨勢以及某些非MEMS近距離傳感技術在工業(yè)領域的根深蒂固，在將MEMS技術應用于制造接近或位置傳感器方面的研究受到限制,。然而，MEMS技術允許開發(fā)或生產(chǎn)成本較低的觸覺傳感器,，使機器人能夠獲得感官信息,，以便以更通用、自主的方式做出決策和執(zhí)行動作,。微型化的趨勢為多傳感器在機器人,、制造過程、過程控制以及生物技術和生命科學等領域的應用帶來了機遇,。

      MEMS的關鍵技術驅(qū)動因素

  成本：最初采用MEMS技術的主要驅(qū)動因素是成本,。MEMS技術具有降低成本的巨大潛力，因為它可以很容易批量制造,。例如,，模擬設備公司的制造方法已經(jīng)標準化,，每年能運送數(shù)百萬個加速計。與傳統(tǒng)的傳感器制造相比,，該工藝流程簡化,，且所需的勞動力更少。

  多用戶MEMS工藝(MUMPS)是一種標準化的表面微機械加工技術,，它是利用MEMSCAP中的多晶硅來制造MEMS器件的最廉價的制造技術之一,。硅是制造MEMS器件的主要材料，它可以使MEMS制造非常經(jīng)濟高效,，因此利潤非?？捎^。

  靈敏度提高：MEMS傳感器比傳統(tǒng)傳感器更敏感,。這是MEMS傳感器優(yōu)于傳統(tǒng)傳感器的主要原因,，尤其是在高精度和高精度的應用中。

  小尺寸優(yōu)勢：緊湊是電子或機械設備市場的主流趨勢,。MEMS技術提供了在小面積內(nèi)填充更多MEMS組件的能力,，這可以降低特定產(chǎn)品的整體尺寸。具有多種功能的MEMS組件可以增強產(chǎn)品的能力,，例如工業(yè)機器人,。

      MEMS傳感器滲入廣泛應用，推動工業(yè)自動化發(fā)展 

  工業(yè)自動化是一個成熟的市場,，有著成熟的流程,。它也比大宗商品型傳感器的更高的體積市場對價格敏感；而且大多數(shù)工藝都是一次性投資,。目前,，基于MEMS的傳感器技術在這一領域的滲透往往局限于過程監(jiān)控應用、工業(yè)安全,、機械監(jiān)控,，在裝配線制造應用中也有一定程度的應用。然而,，隨著工業(yè)領域向智能化,、分布式以及無線監(jiān)控方向發(fā)展，MEMS技術在這一領域可能發(fā)揮著越來越重要的作用,。

MEMS支持的小型化和微機電一體化的趨勢正在推動工業(yè)應用的組件,、設備、系統(tǒng)和子系統(tǒng)的發(fā)展,。然而,，集中研究和發(fā)展努力，解決各種技術和科學問題,，將有助于在其他領域的轉(zhuǎn)彎,，并推動未來幾年工業(yè)自動化的發(fā)展,。